Общая информация по чистым помещениям

Для отраслей: фармацевтики, микроэлектроники, нанотехнологий, медицины, для лабораторий, пищевых предприятий, а также для промышленные предприятия смежных отраслей, с которыми работает ООО "ИТЦ Конвен", весьма актуальной является задача создания чистых производственных помещений (ЧПП) с жесткими требованиями:

а) к микроклимату помещений (запыленность воздушной среды, влажность, температура, скорость воздушных потоков, перепад давления в смежных помещениях);

б) к технологическому оборудованию и оснастке (отсутствие вибраций, шума, открытых движущихся частей, использование специальных материалов и др.);

в) к производственному персоналу (одежда, правила поведения в рабочих помещениях).

Уже из названия ясно, что чистое помещение - это помещение, в котором чисто. Однако, согласно стандарту ISO 14644-1, разработанному Международной Организацией Стандартизации (ISO), чистое помещение - это помещение, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, генерацию и накопление частиц внутри помещения, и в котором, при необходимости, контролируются другие параметры, например, температура, влажность и давление.

Как достигается выполнение этих требований?

Во-первых, подачей в чистое помещение больших объемов воздуха, фильтруемого высокоэффективными фильтрами. Очищенный воздух подается для разбавления и удаления частиц и бактерий, выделяемых персоналом и технологическим оборудованием, а также для того, чтобы создать в помещении барьер от попадания загрязненных воздушных потоков извне.

Во-вторых, чистое помещение построено из материалов, которые не генерируют аэрозолей и могут легко очищаться.

В-третьих, персонал носит спецодежду, изолирующую его от окружающей среды и снижают количество выделяемых персоналом частиц и микроорганизмов.

В чистых помещениях могут также контролироваться температура, влажность, уровень шума, освещенность и вибрации.

Источники возможных загрязнений ЧПП:

Фактор загрязнения	Категория загрязнения	Источник загрязнения	Размеры частиц загрязнения, мкм
Динамические факторы	Технический и обслуживающий персонал	Выделение бактерий и вирусов	от 0,01 до 10
		Испарение тела и жировые выделения	от 0,01 до 1
		Использование косметики	от 0,1 до 1
		Шелушение кожи	от 0,1 до 100
		Выпадение волос	100
		Проникновение табачного дыма	от 0,1 до 1
		Использование технологической одежды из пылевыделяющих тканей	от 1 до 10
		Выделение частиц при передвижении	от 1 до 5
	Технологическое оборудование и материалы	Использование пылевыделяющих материалов	до 100
		Генерация частиц внутри производственного оборудования	от 1
		Выделение пыли из вакуумных устройств	от 0,1 до 0,5
		Масляный туман из вакуумного насоса	от 0,01 до 1
		Использование неочищенных инструментов и приспособлений	от 1 до 100
		Использование непротертого технологического оборудования	от 1 до 100
	Транспортировка изделий	Использование загрязненных кассет и других видов тары для хранения и транспортировки изделий	от 0,1
	Транспортировка изделий	Выделение пыли от транспортных устройств	от 10
	Манипулирование	Выделение частиц при межоперационной транспортировке	от 1 до 500
	Манипулирование	Повреждение деталей при выполнении загрузочных и разгрузочных работ	от 1 до 500
Статические факторы	Технологическая среда	Малоэффективная очистка подаваемого в ЧПП воздуха	от 0,5 17
	Технологическая среда	Попадание в технологический воздух посторонних частиц (генерируемые частицы и т.п.)	от 0,5
	Химические реагенты	Посторонние включения в исходных фоторезистах и реагентах, реактивы	от 0,5
	Химические реагенты	Коррозия аппаратов, трубопроводов, сосудов, фильтров	от 1,0
	Техническая вода и газы	Неочищенные газы и деионизованная вода	от 0,05